本实验装置由直流高压电源、真空系统、供气系统、辉光放电管、真空镀膜钟罩等部件组成。
主要实验内容
可测定探极伏安特性、电子密度、电子温度、电子平均动能、空间电位分布等多种特性参数;了解真空溅射镀膜的原理及基本方法。
仪器主要配置及技术参数
☆真空系数:旋片式真空泵，单相220V，抽速4L/s，极限真空:6×10^-1Pa。
☆智能数显热偶真空计测量系统，采用二路测量真空溅射镀膜和辉光放电等离子气体样品气压。气路采用标准高真空接口，溅射镀膜实验和辉光放电等离子通过高真空角膜阀转换。
☆直流高压电源:0~2000V连续可调;放电电流0~0.5A可测;
☆辉光放电管阳极端有三个探针，可以用单探极法、双探极法、补偿法等进行测量;
☆工作气压:10~200Pa可调:放电管内Φ40×400mm.

浙江大学研制